中科院微电子KW-4T型匀胶机全新升级,7寸大屏显示205mm接胶锅
技术参数及要求:
基片尺寸:Ф5-Ф100mm 圆片,最大100x100mm方片
7寸液晶触控显示屏,有倒计时显示,转速:250-9000RPM
额定电压:~220V/50Hz
转速稳定性:<±1%
旋涂均匀性:<1%
旋涂工艺阶段:6 段
旋涂设置:任意阶段之间均可任意升降调节
旋涂时间:单步工艺0-6000s,可根据客户需求调节
电机功率:40W
整机尺寸(长宽高):240mmx305mmx248mm(包括接胶盘)
裸机尺寸(长宽高):240mmx305mmx155mm
适应材料:硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP 等各种材料

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