中科院微电子KW-4T型匀胶机全新升级,7寸大屏显示205mm接胶锅
时间:08-20-2025

技术参数及要求:

基片尺寸:Ф5-Ф100mm 圆片,最大100x100mm方片

7寸液晶触控显示屏,有倒计时显示,转速:250-9000RPM

额定电压:~220V/50Hz

转速稳定性:<±1%

旋涂均匀性:<1%

旋涂工艺阶段:6 段

旋涂设置:任意阶段之间均可任意升降调节

旋涂时间:单步工艺0-6000s,可根据客户需求调节

电机功率:40W

整机尺寸(长宽高):240mmx305mmx248mm(包括接胶盘)

裸机尺寸(长宽高):240mmx305mmx155mm

适应材料:硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP 等各种材料


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