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中国科学院微电子研究所KW-4A型旋钮匀胶机/旋涂仪
型     号
KW-4A型
品     牌
中科院微电子研究所/IMECAS进入品牌专区
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产品详情

中国科学院微电子研究所生产的KW-4A型匀胶机

适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配真空泵一起使用。目前的型号有KW-4A、KW-4T和KW-5型。 

 产品主要特点 

1、开关电流调速,稳定性能更好,转速调节以数字显示为准。 

2、转速在500~8000转/分范围内非常稳定。   

3、采用双转速。在启动之后,先以低速运转,使胶摊开,然后自动转换到高速运转。两种转速及相应的时间分别可调,时间分别控制在1~18秒和3秒~1分钟。 

4、具有定时功能。  

5、测速采用光电的办法,产生光电脉冲,由晶体分频测速准确性高。  

6、"吸片"采用电磁阀控制气路,一个气泵可同时带几台匀胶机工作,适合流水线的工艺,提高了效率。   

7、在安装结构上,采取了减振措施,保证了在运转时噪音低。 

> 参数:手动旋钮控制 
        > 基片尺寸φ5-100mm圆片、最大100x100mm2方片 
        > 转速:500-8000转/分 
        > 显示转速稳定度:±1%,胶的均匀性±1% 
        > 匀胶阶段:2段 
        > 匀胶时间:Ⅰ速0~18S,最大(0~60S);Ⅱ速0~60S,最大(0~180S) 
        > 电机功率:40W 
        > 整机尺寸(长宽高):210mm×260mm×275mm 
        > 适用材料:硅片、玻璃、石英、金属GaAs、GaN、InP等多种材料

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